六氟化硫（SF6）越来越多地用于制造半导体器件，例如IC（集成电路），平板，光伏板和MEMS（微机电系统）。 SF6在上述过程中用作蚀刻气体。由于密度和大分子尺寸，SF6是平板和MEMS生产过程中优选的蚀刻气体。六氟化硫（SF6）等氟化气体在硅器件的制造中起着非常重要的作用。在这个细分市场中，气体纯度至关重要，因为必须尽可能减少污染的可能性。为此，索尔维提供N5.0材料（纯度最低99.999％）

• CAS号

  2551-62-4

• 全Q事业部

  特殊化学

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• 同义词

  硫化物六氟环